GW28NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表的詳細資料:
GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表
是在工廠內完善潔浄室,半導體設備適用的壓力表
品牌:NAGANOKEIKI長野計器NKS
型號:GW28
GW28
半導體工業(yè)用壓力表
面向半導體集成化進程
在半導體高純度氣體及腐蝕性氣體的氣氛等條件下也能發(fā)揮優(yōu)異的性能。
是對氣密性·清洗度也充分考慮被制作,半導體工藝等,特別適合高純度流體的壓力表。
GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表
特性
φ28大小的小直徑類型可幫助節(jié)省集成裝載的空間。
由于接氣部與以往C形布爾登管相比為單純的隔膜式,因此清洗和氣體沖洗容易是能做的構造。
與現(xiàn)有產品(小型布爾登管式)相比,接氣部內容積約為1/2,氣體滯留的死區(qū)(接氣部內容積)大幅降低。
*選擇壓力表時,為了充分發(fā)揮性能,將壓力范圍設為常用壓力的上限在以下范圍
請選定。
定壓力時:壓力范圍Max.值的3/4以下。
變動壓力時:壓力范圍Max.值的2/3以下。
另外,請確認記載的接氣部材質符合測定流體。
詳細情況請看JIS B 7505-1。
GW28 NAGANO KEIKI長野計器NKS半導體用壓力表
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